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    Nanoscale TiN wet etching and its application for FinFET fabrication
    Yamauchi, Hiromi ; Hayashida, T. ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Variation analysis of TiN FinFETs
    Sakamoto, Kunihiro ; Liu, Y. X. ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Mobility measurements in Gd silicate/TiN SOI and sSOI n-MOSFETs
    Buca, Dan ; Gottlob, H. D. B. ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Effects of fin width on memory windows in FinFET ZRAMs
    Cristoloveanu, Sorin ; Schrimpf, Ronald D. ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Investigation of SILC via energy resolved spin dependent tunneling spectroscopy
    Ryan, Jason T. ; Krishnan, Anand T. ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    A high performance MOSFET on selective buried oxide with improved short channel effects
    S. Sundar Kumar Iyer ; Qureshi, S. ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Fabrication and characterization of buried-gate fin and recess channel MOSFET for high performance and low GIDL current
    Kim, Hyun-Woo ; Oh, Jeong-Hoon ; et al.
    In: 2009 International Semiconductor Device Research Symposium, 2009-12-01
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -