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    Mechanism of Cloudy Surface Generation on Si Wafer Employing Numerically Controlled Local Dry Etching (NC-LDE)
    Horiike, Yasuhiro ; Yanagisawa, Michihiko ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 43 (2004-01-13), S. 19-22
    Online unknown
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    Excimer-laser patterning of copper in LDE (laser dry etching)
    Wesner, D.A. ; Pfleging, Wilhelm ; et al.
    Online unknown
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    Microstructural characterization of front-side Ag contact of crystalline Si solar cells with lightly doped emitter
    Lap Kin Cheng ; Meisel, Andreas ; et al.
    In: 2012 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2012-06-01
    Online unknown
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    Erosion Resistance of Thick Nitride and Carbonitride Coatings Deposited using Plasma Enhanced Magnetron Sputtering
    Yang, Qi ; Zhao, Linruo ; et al.
    In: Plasma Processes and Polymers, Jg. 4 (2007-04-01), S. S693- (7S.)
    Online unknown
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    Structural Study Using Ultrahigh Resolution Cabon Nanotube AFM Probe Tips
    Yang, Sung-Ik
    In: Journal of the Korean Chemical Society, Jg. 49 (2005-12-20), S. 517-520
    Online unknown
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    Analysis of layout-dependent context effects on timing and leakage in 28nm
    Sharma, Puneet ; Hurat, Philippe ; et al.
    In: Design for Manufacturability through Design-Process Integration VI, 2012-03-29
    Online unknown
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