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  1. VILLANUEVA, Guillermo ; PEREZ-MURANO, Francesc ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering: 19-22 September 2005, Vienna, Austria, Jg. 83 (2006), Heft 4-9, S. 1302-1305
    Konferenz
  2. LEI, GU ; XINXIN, LI
    In: Microelectronic engineering, Jg. 85 (2008), Heft 4, S. 697-703
    academicJournal
  3. CHAPELON, L. L ; AURAL, V ; et al.
    In: Materials for Advanced Metallization, MAM 2004. Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2004, Brussels, Belgium, March 7-10, Jg. 76 (2004), Heft 1-4, S. 1-7
    Konferenz
  4. WAGHMARE, Parag C ; PATIL, Samadhan B ; et al.
    In: Micro- and nano- engineering 2001, MNE: proceedings of the 27th international conference on micro- and nano-engineering, September 16-19, Jg. 61-62 (2002), S. 625-629
    Konferenz
  5. MAES, H. E ; GROESENEKEN, G ; et al.
    In: Electrical and physical characterization of materials and devices for silicon microelectronics, Jg. 40 (1998), Heft 3-4, S. 147-166
    Konferenz
  6. GOUX, L ; MAES, D ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 10, S. 2027-2031
    academicJournal
  7. KLAASSEN, E. H ; REAY, R. J ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 52 (1996), Heft 1-3, S. 33-40
    Online academicJournal
  8. PANTEL, R ; AUVERT, G ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 37-38 (1997), S. 49-57
    academicJournal
  9. GAMBINO, J ; WYNNE, J ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2059-2067
    Konferenz
  10. SUGIURA, I ; MISAWA, N ; et al.
    In: Proceedings of the ninth european workshop on materials for advanced metallization 2005, 6-9 March 2005, Dresden, Germany, Jg. 82 (2005), Heft 3-4, S. 380-386
    Konferenz
  11. KALLIS, K. T ; HORSTMANN, J. T ; et al.
    In: Proceedings of the 32nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering, Barcelona, 17-20 September 2006, Jg. 84 (2007), Heft 5-8, S. 1484-1487
    Konferenz
  12. KUMURA, Y ; OZAKI, T ; et al.
    In: Papers selected from the 35th European Solid-State Device Research Conference - ESSDERC'05, Jg. 50 (2006), Heft 4, S. 606-612
    Konferenz
  13. KITTL, J. A ; SHIAU, W. T ; et al.
    In: Materials for Advanced Metallization MAM'99, Jg. 50 (2000), Heft 1-4, S. 87-101
    Konferenz
  14. RANDALL, J ; FRAZIER, G ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 32 (1996), Heft 1-4, S. 15-30
    academicJournal
  15. DWIVEDI, V. K ; SINGH, N. B ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 24 (1993), Heft 7, S. 773-785
    academicJournal
  16. FOX, A ; EHWALD, K. E ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 37 (2006), Heft 11, S. 1194-1199
    Konferenz
  17. CHARLET, B ; DI CIOCCIO, L ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2195-2199
    Konferenz
  18. JING, ZHANG ; BLOOMFIELD, Max O ; et al.
    In: Proceedings of the ninth european workshop on materials for advanced metallization 2005, 6-9 March 2005, Dresden, Germany, Jg. 82 (2005), Heft 3-4, S. 534-547
    Konferenz
  19. ARNAL, Vincent ; TORRES, Joaquin ; et al.
    In: Proceedings of the fifth european workshop on materials for advanced metallization (MAM 2001), Sigtuna, Sweden, March 5-7, Jg. 60 (2002), Heft 1-2, S. 143-148
    Konferenz
  20. AMON, Cristina H ; MURTHY, Jayathi ; et al.
    In: International Thermal Science Seminar, Part I, Jg. 25 (2001), Heft 5, S. 231-242
    Konferenz
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