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  1. LIU, Y. X ; MATSUKAWA, T ; et al.
    In: INFOS 2007: Proceedings of the 15th Biennial Conference on Insulating Films on Semiconductors, June 20-23, Jg. 84 (2007), Heft 9-10, S. 2101-2104
    Konferenz
  2. URANGA, A ; VERD, J ; et al.
    In: Proceedings of the 32nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering, Barcelona, 17-20 September 2006, Jg. 84 (2007), Heft 5-8, S. 1374-1378
    Konferenz
  3. YIJIAN, CHEN ; CHU, Albert
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering: 19-22 September 2005, Vienna, Austria, Jg. 83 (2006), Heft 4-9, S. 1745-1748
    Konferenz
  4. THIERRY, Taris ; JEAN-BAPTISTE, Begueret ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 37 (2006), Heft 11, S. 1251-1260
    Konferenz
  5. VILLANUEVA, Guillermo ; PEREZ-MURANO, Francesc ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering: 19-22 September 2005, Vienna, Austria, Jg. 83 (2006), Heft 4-9, S. 1302-1305
    Konferenz
  6. SONG, S. C ; ZHANG, Z ; et al.
    In: Proceedings of the International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2005) Symposium H: Silicon microelectronics: processing to packaging, Singapore, July 3-8, Jg. 504 (2006), Heft 1-2, S. 170-173
    Konferenz
  7. MAZZANTI, Andrea ; SVELTO, Francesco
    In: Microelectronics journal, Jg. 37 (2006), Heft 11, S. 1241-1250
    Konferenz
  8. VILLANUEVA, G ; MONTSERRAT, J ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 480-486
    Konferenz
  9. HARMS, K. U ; HORSTMANN, J. T
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 468-473
    Konferenz
  10. REN, C ; FAIZHAL, B. B ; et al.
    In: Proceedings of the International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2005) Symposium H: Silicon microelectronics: processing to packaging, Singapore, July 3-8, Jg. 504 (2006), Heft 1-2, S. 174-177
    Konferenz
  11. HORSTMANN, J. T ; GOSER, K. F
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 390-396
    Konferenz
  12. MAHAPATRA, S ; ALAM, M. A ; et al.
    In: Infos 2005: Proceedings of the 14th Biennal Conference on Insulating Films on Semiconductors, June 22-24, Jg. 80 (2005), S. 114-121
    Konferenz
  13. HUIKAI, XIE ; FEDDER, Gary K
    In: Micromechanics section of sensors and actuators, Jg. 95 (2002), Heft 2-3, S. 212-221
    Konferenz
  14. NEUMANN, John J ; GABRIEL, Kaigham J
    In: Micromechanics section of sensors and actuators, Jg. 95 (2002), Heft 2-3, S. 175-182
    Konferenz
  15. DJEFFAL, F ; CHAHDI, M ; et al.
    In: Solid-state electronics, Jg. 51 (2007), Heft 1, S. 48-56
    academicJournal
  16. HONER, Kenneth A ; KOVACS, Gregory T. A
    In: Selected papers from the Technical Digest of the 2000 Solid-State Sensors and Actuators Workshop, Hilton Head Island, SC, USA, 4-8 June, Jg. 91 (2001), Heft 3, S. 386-397
    Konferenz
  17. BALTES, Henry ; BRAND, Oliver
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 1-9
    Konferenz
  18. QIU, Y. Y ; AZEREDO-LEME, C ; et al.
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 80-87
    Konferenz
  19. KOZIEL, Slawomir ; SZCZESNIAK, Wladyslaw
    In: Therminic '02, Jg. 34 (2003), Heft 12, S. 1167-1174
    Konferenz
  20. KORNEEV, Alexander ; LIPATOV, A ; et al.
    In: Proceedings of the Symposium and Summer School on: Nano and Giga Challenges in Microelectronics Research and Opportunities in Russia, Jg. 69 (2003), Heft 2-4, S. 274-278
    Konferenz
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