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    Electro-Thermally Actuated Non-Volatile Mechanical Memory With CMOS-Level Operation Voltage and Low Contact Resistance
    Yoon, Jun-Bo ; Pan Kyu Choi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-02-01), S. 87-96
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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors
    Chung, Wing-Wai ; Cai, Hong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1199-1207
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips
    Li, Yifan ; Tsiamis, Andreas ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1245-1252
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    Design Considerations for CMOS-Integrated Hall-Effect Magnetic Bead Detectors for Biosensor Applications
    SKUCHA, K ; GAMBINI, S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1327-1338
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    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
    DEHUI, XU ; BIN, XIONG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 6, S. 1331-1340
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    ZALALUTDINOV, Maxim K ; CROSS, Joshua D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 807-815
    Online academicJournal
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    Glass and Quartz Microscintillators for CMOS-Compatible Multispecies Radiation Detection
    WAGUESPACK, Randy P ; PELLEGRIN, Scott M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 5, S. 1192-1200
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization
    Zope, Anurag A. ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 744-754
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Li, Cheng-Syun ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 755-765
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    CMOS Compatible Hermetic Packages Based on Localized Fusion Bonding of Fused Silica
    Du, Lin ; Allen, Mark G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-08-01), S. 656-665
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    Magnet-Less Circulator Using AlN MEMS Filters and CMOS RF Switches
    Piazza, Gianluca ; Xu, Changting
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-06-01), S. 409-418
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka -Band Tunable Filters
    Scarbrough, Derek ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 910-918
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    CMOS Neural Probe With 1600 Close-Packed Recording Sites and 32 Analog Output Channels
    Abdalrahman Sayed Herbawi ; Ruther, Patrick ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 27 (2018-12-01), S. 1023-1034
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- $\mu \text{m}$ CMOS Chips
    Toshiyoshi, Hiroshi ; Cheng, Zhengxi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), S. 1435-1441
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process
    Kinget, Peter R. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), S. 846-858
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