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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process.
    Edrees, Hassan M. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), Heft 4, S. 846-858
    Online academicJournal
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    Wie komme ich dran?
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    An In-Plane High-Sensitivity, Low-Noise Micro-g Silicon Accelerometer With CMOS Readout Circuitry.
    Chae, Junscok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-08-01), Heft 4, S. 628-635
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A Self-Scanned Active-Matrix Tactile Sensor Realized Using Silicon-Migration Technology.
    Zeng, Fan ; Wong, Man
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), Heft 3, S. 677-684
    Online academicJournal
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    3-D Integration and Through-Silicon Vias in MEMS and Microsensors.
    Wang, Zheyao
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-10-01), Heft 5, S. 1211-1244
    Online academicJournal
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    All-Silicon Technology for High- $Q$ Evanescent Mode Cavity Tunable Resonators and Filters.
    Arif, Muhammad Shoaib ; Peroulis, Dimitrios
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 727-739
    Online academicJournal
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    Drift-Free Micromirror Arrays Made of Monocrystalline Silicon for Adaptive Optics Applications.
    Lapisa, Martin ; Zimmer, Fabian ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-08-01), Heft 4, S. 959-970
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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