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    Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit
    VERD, Jaume ; ABADAL, G ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 14 (2005), Heft 3, S. 508-519
    Online academicJournal
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    academicJournal
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    Integration of Boron-Doped Diamond Microelectrode on CMOS-Based Amperometric Sensor Array by Film Transfer Technology.
    Hayasaka, Takeshi ; Yoshida, Shinya ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 958-967
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology.
    Xu, Wei ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), Heft 5, S. 954-962
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias.
    Du, Yuxin ; Wu, Dong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), Heft 4, S. 770-779
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Experimental Analysis of Vapor HF Etch Rate and Its Wafer Level Uniformity on a CMOS-MEMS Process.
    Valle, Juan ; Fernandez, Daniel ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), Heft 2, S. 401-412
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Theory and Design of Phononic Crystals for Unreleased CMOS-MEMS Resonant Body Transistors.
    Bahr, Bichoy ; Marathe, Radhika ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-10-01), Heft 5, S. 1520-1533
    Online academicJournal
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    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    academicJournal
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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology.
    Marathe, Radhika ; Bahr, Bichoy ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 636-650
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators.
    Liu, Yu-Chia ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), Heft 5, S. 1054-1065
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Miniaturized Electronic Circuit Design Challenges for Ingestible Devices.
    Van Helleputte, Nick ; Even, Aniek J. G. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 645-652
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Surface Micromachined Combined Magnetometer/Accelerometer for Above-IC Integration.
    Elsayed, Mohannad Yomn ; Cicek, Paul-Vahe ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 1029-1037
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    A High Fill-Factor Annular Array of High Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers.
    Lu, Yipeng ; Heidari, Amir ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 904-913
    Online academicJournal
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    Glass and Quartz Microscintillators for CMOS-Compatible Multispecies Radiation Detection.
    Waguespack, Randy P. ; Pellegrin, Scott M. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), Heft 5, S. 1192-1200
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Fabrication techniques to realize CMOS-compatible microfluidic microchannels.
    Rasmussen, Angela ; Gaitan, Michael ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 10 (2001-06-01), Heft 2, S. 286-297
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    An In-Plane High-Sensitivity, Low-Noise Micro-g Silicon Accelerometer With CMOS Readout Circuitry.
    Chae, Junscok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-08-01), Heft 4, S. 628-635
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Polycrystalline silicon-germanium films for integrated microsystems
    FRANKE, Andrea E ; HECK, John M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 12 (2003), Heft 2, S. 160-171
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A Self-Scanned Active-Matrix Tactile Sensor Realized Using Silicon-Migration Technology.
    Zeng, Fan ; Wong, Man
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), Heft 3, S. 677-684
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    3-D Integration and Through-Silicon Vias in MEMS and Microsensors.
    Wang, Zheyao
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-10-01), Heft 5, S. 1211-1244
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    All-Silicon Technology for High- $Q$ Evanescent Mode Cavity Tunable Resonators and Filters.
    Arif, Muhammad Shoaib ; Peroulis, Dimitrios
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 727-739
    Online academicJournal
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