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    Aluminum-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films deposited by hot wire CVD
    MIYAJIMA, Shinsuke ; YAMADA, Akira ; et al.
    In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004, Jg. 501 (2006), Heft 1-2, S. 186-189
    Konferenz
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    Investigation of TiO2-doped HfO2 thin films deposited by photo-CVD
    FANG, Q ; ZHANG, J.-Y ; et al.
    In: Proceedings of Symposium J on Growth and Evolution of Ultra Thin Films: Surface and Interface Geometric & Electronic Structure, Jg. 428 (2003), Heft 1-2, S. 263-268
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of SiNx and composite SiNx-TiN films from alkoxide solutions by liquid injection plasma CVD
    SHIMADA, Shiro ; TSUKURIMICHI, Kenichi
    In: Thin solid films, Jg. 419 (2002), Heft 1-2, S. 54-59
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Structural analysis of nanocrystalline SiC thin films grown on silicon by ECR plasma CVD
    TOAL, S. J ; REEHAL, H. S ; et al.
    In: Proceedings of the Thin Films and Electronic Materials and Processing sessions from the 14th International Vacuum Congress, Birmingham, UK, 31 August-4 September, 1998, Jg. 343-4 (1999), S. 292-294
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    μc-Si:H n-type doped layers resistant against HWCVD i-layers deposited at high temperature and high growth rate
    GORDIJN, Aad ; FRANCKE, Jeroen ; et al.
    In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004, Jg. 501 (2006), Heft 1-2, S. 338-340
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Coating of carbon short fibers with thin ceramic layers by chemical vapor deposition
    HACKL, Gerrit ; GERHARD, Helmut ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 513 (2006), Heft 1-2, S. 217-222
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Effect of hydrogen radical exposure on the interfacial and bulk structure of a-Si:H/a-SiNx:H multilayer films
    GAORONG, HAN ; PIYI, DU ; et al.
    In: Symposium Q on thin films, Jg. 334 (1998), Heft 1-2, S. 6-10
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Optical and structural properties of GaN materials and structures grown on Si by metalorganic chemical vapor deposition
    FENG, Z. C ; ZHANG, X ; et al.
    In: Proceedings of the 2nd Asian Conference on Chemical Vapour Deposition, Gyeongju, Korea, May 28-30, 2001, Jg. 409 (2002), Heft 1, S. 15-22
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Deposition and mechanical properties of Ti-Si-N coated layer on WC-Co by RF inductively coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition
    LEE, Eung-Ahn ; KWANG HO, KIM
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 371-376
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Growth and properties of alumina films obtained by low-pressure metal-organic chemical vapor deposition
    KUO, Dong-Hau ; CHEUNG, Bo-Yu ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 30-May 4 2001, Jg. 398-99 (2001), Heft 1, S. 35-40
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Bond formation in ion beam synthesised amorphous gallium nitride
    ALMEIDA, S. A ; SILVA, S. R. P ; et al.
    In: Proceedings of the Thin Films and Electronic Materials and Processing sessions from the 14th International Vacuum Congress, Birmingham, UK, 31 August-4 September, 1998, Jg. 343-4 (1999), S. 632-636
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Deposition of Sm2O3 doped CeO2 thin films from Ce(DPM)4 and Sm(DPM)3 (DPM=2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato) by aerosol-assisted metal-organic chemical vapor deposition
    YINZHU, JIANG ; HAIZHENG, SONG ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 510 (2006), Heft 1-2, S. 88-94
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Chemical/mechanical polishing of diamond films assisted by molten mixture of LiNO3 and KNO3
    WANG, C. Y ; ZHANG, F. L ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 496 (2006), Heft 2, S. 698-702
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Thermal stability of nc-TiN/a-BN/a-TiB2 nanocomposite coatings deposited by plasma chemical vapor deposition
    KARVANKOVA, P ; VEPREK-HEIJMAN, M. G. J ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 467 (2004), Heft 1-2, S. 133-139
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Magnesium aluminate thin films by atomic layer deposition from organometallic precursors and water
    PUTKONEN, Matti ; NIEMINEN, Minna ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 466 (2004), Heft 1-2, S. 103-107
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Growth of bismuth oxide films by direct liquid injection-metal organic chemical vapor deposition with Bi(tmhd)3 (tmhd: 2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedione)
    KANG, S. W ; RHEE, S. W
    In: Thin solid films, Jg. 468 (2004), Heft 1-2, S. 79-83
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Growth of copper metal by atomic layer deposition using copper(I) chloride, water and hydrogen as precursors
    TÖRNDAHL, Tobias ; OTTOSSON, Mikael ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 458 (2004), Heft 1-2, S. 129-136
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Combining grazing incidence X-ray diffraction and X-ray reflectivity for the evaluation of the structural evolution of HfO2 thin films with annealing
    WIEMER, C ; FERRARI, S ; et al.
    In: Proceedings of Symposium M on Optical and X-Ray Metrology for Advanced Device Materials Characterization, Jg. 450 (2004), Heft 1, S. 134-137
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Silicon rich silicon oxynitride films for photoluminescence applications
    RIBEIRO, M ; PEREYRA, I ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 426 (2003), Heft 1-2, S. 200-204
    academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Local structure and bonds of amorphous silicon oxynitride thin films
    SCOPEL, W. L ; FANTINI, M. C. A ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 413 (2002), Heft 1-2, S. 59-64
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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