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    Influence of H 2 Addition and Growth Temperature on CVD of SiC Using Hexamethyldisilane and Ar
    Nordell, Nils ; Pirouz, Pirouz ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 142 (1995-02-01), S. 565-571
    Online unknown
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    Oxidation Behavior of CVD and Single Crystal SiC at 1100°C
    C. Eric Ramberg ; Spear, Karl E. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 142 (1995-11-01), S. L214- (3S.)
    Online unknown
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    Low Temperature CVD of SiO2 Films Using Novel Precursors
    Agaskar, Pradyot A. ; Peng, Chien H. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 139 (1992-09-01), S. 2682-2685
    Online unknown
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    Raman Investigations on Diamond Films and Crystals Deposited by Plasma‐Assisted CVD
    Vandenbulcke, L. ; Bou, P.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 138 (1991-10-01), S. 2991-3000
    Online unknown
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    Heteroepitaxial Growth of β ‐ SiC on Si (111) by CVD Using a CH 3Cl ‐ SiH4 ‐ H 2 Gas System
    Shichi, Y. ; Ikoma, K. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 138 (1991-10-01), S. 3028-3031
    Online unknown
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    Growth Kinetics of CVD TiO2: Influence of Carrier Gas
    Siefering, K. L. ; Griffin, G. L.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 137 (1990-04-01), S. 1206-1208
    Online unknown
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    Growth of InSb and InAs1 − x Sb x by OM‐CVD
    Bedair, S. M. ; Chiang, P. K.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 131 (1984-10-01), S. 2422-2426
    Online unknown
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    Epitaxial Growth of Silicon by CVD in a Hot‐Wall Furnace
    Oei, Y. S. ; Hanssen, J. H. L. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 132 (1985-08-01), S. 1973-1980
    Online unknown
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    Kinetics of Low Pressure CVD Growth of SiO2 on InP and Si
    Iyer, R. ; Lile, D. L.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 135 (1988-03-01), S. 691-697
    Online unknown
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    The Formation and Structure of CVD W Films Produced by the Si Reduction of WF 6
    Feldman, Leonard C. ; Boone, T. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 134 (1987-09-01), S. 2285-2292
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Growth Characteristics of CVD Beta‐Silicon Carbide
    Shyy, W. J. ; Hon, M. H. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 134 (1987-12-01), S. 3145-3149
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Crystal Growth in Silicon Chemical Vapor Deposition from Silane: The Role of Hydrogen
    Tao, Meng ; Hunt, Lee P.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 144 (1997-06-01), S. 2221-2225
    Online unknown
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Film Growth Kinetics of Chemical Vapor Deposition of Copper from Cu ( HFA ) 2
    Gill, William N. ; Wentorf, Robert H. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 140 (1993-11-01), S. 3267-3272
    Online unknown
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    The Oxidation of Chemically Vapor Deposited Silicon Nitride and Silicon Nitride Coated Graphite
    Fergus, Jeffrey W. ; Worrell, Wayne L.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 142 (1995), S. 183-185
    Online unknown
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    Characteristics of B‐doped Si1 − x Ge x Growth Rates by Chemical Vapor Deposition Using Si2 H 6, GeH4, and B 2 H 6 Gases
    Karasawa, Takeshi ; Fujinaga, Kiyohisa
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 140 (1993-07-01), S. 2081-2084
    Online unknown
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Low‐Temperature Silicon Epitaxy Using Gas Molecular‐Flow Preshowering
    Choon Min Soh ; Morita, Mizuho ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 140 (1993-02-01), S. 371-377
    Online unknown
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    Selective Growth of Polysilicon
    Maeda, Mamoru ; Furumura, Yuji ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 133 (1986-02-01), S. 379-383
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    Morphological Clue to a Pyrolytic Thin Film Growth Mechanism
    Greenberg, Charles B.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 132 (1985-06-01), S. 1394-1397
    Online unknown
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    Low Temperature Plasma‐Enhanced Epitaxy of GaAs
    Pande, K. P. ; Seabaugh, Alan
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 131 (1984-06-01), S. 1357-1359
    Online unknown
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    Growth Texture of Polycrystalline Silicon Prepared by Chemical Vapor Deposition
    Graham, C. D. ; Pope, David P. ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 123 (1976-11-01), S. 1760-1762
    Online unknown
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