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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording
    SEIDL, Karsten ; HERWIK, Stanislav ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 6, S. 1439-1448
    Online academicJournal
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording―Characterization and Application
    SEIDL, Karsten ; SCHWAERZLE, Michael ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1426-1435
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process
    EMINOGLU, Selim ; MAHMUD YUSUF, TANRIKULU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    KO, Cheng-Ting ; TSENG, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    HAO, LUO ; GANG, ZHANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 11 (2002), Heft 3, S. 188-195
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures
    TAKAO, Hidekuni ; ICHIKAWA, Takehiko ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 919-926
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Resonant magnetic field sensor with frequency output
    SUNIER, Robert ; VANCURA, Tobias ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 5, S. 1098-1107
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Three-dimensional self-assembled sensors in thin-film SOI technology
    IKER, Francois ; ANDRE, Nicolas ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1687-1697
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    An Improved Performance Poly-Si Pirani Vacuum Gauge Using Heat-Distributing Structural Supports
    MITCHELL, Jay ; ROIENTAN LAHIJI, G ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 93-102
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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