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  1. TSAI, Chien-Chung ; CHENG, Pao-Ting ; et al.
    In: MEMS / MOEMS components and their applications II (San Jose CA, 24-25 January 2005), 2005, S. 89-98
    Konferenz
  2. CHENG, Ying-Chou ; LEE, Chi-Yuan ; et al.
    In: MEMS, MOEMS, and micromachining (Strasbourg, 29-30 April 2004), 2004, S. 274-283
    Konferenz
  3. GAITAN, Michael
    In: Microelectronics (Baltimore MD, 9-11 October 2001), 2001, S. 1-6
    Konferenz
  4. SCHRÖPFER, Gerold ; MCNIE, Mark ; et al.
    In: MEMS, MOEMS, and micromachining (Strasbourg, 29-30 April 2004), 2004, S. 116-127
    Konferenz
  5. YUN, ZHENG ; DUTTA, Mitra ; et al.
    In: Metrology, inspection, and process control for microlithography XVI (Santa Clara CA, 4-7 March 2002), 2002
    Konferenz
  6. GRACIAS, Alison ; CASTRACANE, James ; et al.
    In: Reliability, packaging, testing, and characterization of MEMS/MOEMS V (25-26 January 2006, San Jose, California, USA), 2006, S. 61110O.1
    Konferenz
  7. BAKKE, Thor ; FRIEDRICHS, Martin ; et al.
    In: Micromachining and microfabrication process technology X (San Jose CA, 25-27 January 2005), 2005, S. 69-79
    Konferenz
  8. MAL, Prosenjit ; TOSHNIWAL, Kavita ; et al.
    In: Emerging optoelectronic applications (San Jose CA, 26-27 January 2004), 2004, S. 27-38
    Konferenz
  9. BIFANO, Thomas ; BIERDEN, Paul ; et al.
    In: Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 (Cannes, 6-8 May 2002), 2002, S. 467-476
    Konferenz
  10. DOWLING, A. J ; GHANTASALA, M. K ; et al.
    In: Device and process technologies for MEMS, microelectronics, 2004, S. 213-220
    Konferenz
  11. GOGOI, Bishnu P
    In: MEMS /MOEMS components and their applications (San Jose CA, 26-27 January 2004), 2004, S. 1-12
    Konferenz
  12. STAPLE, Bevan ; MULLER, Lilac ; et al.
    In: MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace and communication II (San Jose CA, 28-29 January 2003), 2003, S. 9-17
    Konferenz
  13. JANSON, Siegfried W
    In: MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace and communication II (San Jose CA, 28-29 January 2003), 2003, S. 95-106
    Konferenz
  14. PALAN, Bohuslav ; TORKI, Kholdoun ; et al.
    In: Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 (Cannes, 6-8 May 2002), 2002, S. 97-104
    Konferenz
  15. SANDSTRÖM, Torbjörn ; FILLION, Tim ; et al.
    In: Photomask and next-generation lithography mask technology VIII (Yokohama, 25-27 April 2001), 2001, S. 270-276
    Konferenz
  16. BRUBAKER, C ; GLINSNER, T ; et al.
    In: Microelectronics (Baltimore MD, 9-11 October 2001), 2001, S. 594-599
    Konferenz
  17. XIAOXING, FENG ; JAIN, Ankur ; et al.
    In: MEMS/MOEMS components and their applications IV (22-23 January 2007, San Jose, California, USA), 2007, S. 64640M.1
    Konferenz
  18. SHARMA, Preeti ; KOUL, Shiban K ; et al.
    In: Smart Structures and Materials 2006 (Smart electronics, MEMS, BioMEMS, 2006, S. 61721F.1
    Konferenz
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