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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    MARATHE, Radhika ; BAHR, Bichoy ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 23 (2014), Heft 3, S. 636-650
    Online academicJournal
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    One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
    ZIMMER, Fabian ; LAPISA, Martin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 564-572
    Online academicJournal
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    Volltext
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    CMOS compatible integration of three-dimensional microfluidic systems based on low-temperature transfer of SU-8 films
    PENG, Zheng-Chun ; LING, Zhong-Geng ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 3, S. 708-716
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Planar CMOS compatible process for the fabrication of buried microchannels in silicon, using porous-silicon technology
    KALTSAS, Grigoris ; PAGONIS, Dimitris Nickos ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 12 (2003), Heft 6, S. 863-872
    Online academicJournal
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    Process-dependent thin-film thermal conductivities for thermal CMOS MEMS
    VON ARX, M ; PAUL, O ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (1999), Heft 1, S. 136-145
    Online academicJournal
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    High-performance condenser microphone with fully integrated CMOS amplifier and DC-DC voltage converter
    PEDERSEN, M ; OLTHUIS, W ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 4, S. 387-394
    Online academicJournal
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    A Two-Dimensional MEMS Scanning Mirror Using Hybrid Actuation Mechanisms With Low Operation Voltage
    KAH HOW, KOH ; LEE, Chengkuo
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 5, S. 1124-1135
    Online academicJournal
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    Room-Temperature Fabrication of Anodic Tantalum Pentoxide for Low-Voltage Electrowetting on Dielectric (EWOD)
    YIFAN, LI ; PARKES, William ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1481-1488
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Tungsten-Microhotplate-Array-Based Pirani Vacuum Sensor System With On-Chip Digital Front-End Processor
    JIAQI, WANG ; ZHENAN, TANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 4, S. 834-841
    Online academicJournal
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    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors
    SUTER, Jonathan D ; HOHIMER, Cameron J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 670-677
    Online academicJournal
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    Electroless Deposition and Structuring of Silver Electrodes in Closed Microfluidic Capillaries
    HEUCK, Friedjof C. A ; STAUFER, Urs
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 2, S. 451-459
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Aluminum Nitride Ultrasonic Air-Coupled Actuator
    GRIFFIN, Benjamin A ; WILLIAMS, Matthew D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 2, S. 476-486
    Online academicJournal
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    High-Reflectivity Broadband Photonic Crystal Mirror MEMS Scanner With Low Dependence on Incident Angle and Polarization
    IL WOONG, JUNG ; KIM, Sora ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 18 (2009), Heft 4, S. 924-932
    Online academicJournal
    Zugriff:
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