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In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 24 (2006), S. 414-414Online unknownZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 26 (2008), S. 396-396Online unknownZugriff: