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    Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators
    LI, Cheng-Syun ; LI, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1361-1372
    Online academicJournal
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators
    LIU, Yu-Chia ; TSAI, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 5, S. 1054-1065
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    CHEN, Wen-Chien ; WEILEUN, FANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 688-701
    Online academicJournal
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    ZALALUTDINOV, Maxim K ; CROSS, Joshua D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 807-815
    Online academicJournal
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    Volltext
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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications
    WITVROUW, Ann ; HASPESLAGH, Luc ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
    ZIMMER, Fabian ; LAPISA, Martin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 564-572
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    REINKE, John ; FEDDER, Gary K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
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    CMOS interface circuitry for a low-voltage micromachined tunneling accelerometer
    YEH, C ; NAJAFI, K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 1, S. 6-15
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Hybrid postprocessing etching for CMOS-compatible MEMS
    TEA, N. H ; MILANOVIC, V ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 4, S. 363-372
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Wafer-Level Transfer Technologies for PZT-Based RF MEMS Switches
    GUERRE, Roland ; DRECHSLER, Ute ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 548-560
    Online academicJournal
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    AlN Microresonator-Based Filters With Multiple Bandwidths at Low Intermediate Frequencies
    BONGSANG, KIM ; OLSSON, Roy H ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 4, S. 949-961
    Online academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Device-Level Vacuum Packaging for RF MEMS
    SHAHRIAR RAHMAN, M ; CHITTEBOYINA, Murali M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 911-918
    Online academicJournal
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    High-Reflectivity Broadband Photonic Crystal Mirror MEMS Scanner With Low Dependence on Incident Angle and Polarization
    IL WOONG, JUNG ; KIM, Sora ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 18 (2009), Heft 4, S. 924-932
    Online academicJournal
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    Out-of-plane high-Q inductors on low-resistance silicon
    CHUA, Christopher L ; FORK, David K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 12 (2003), Heft 6, S. 989-995
    Online academicJournal
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