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    Magnet-Less Circulator Using AlN MEMS Filters and CMOS RF Switches
    Piazza, Gianluca ; Xu, Changting
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-06-01), S. 409-418
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    Multi-Functional CMOS Compatible Nano-Electro-Mechanical Relays for Vapor Phase Explosive Detection
    Maryam Shojaei Baghini ; Neena A Gilda ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-06-01), S. 616-623
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    One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
    Zimmer, Fabian ; Lapisa, Martin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 564-572
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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    Weinstein, Dana ; Daniel, Luca ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), S. 636-650
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    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators
    Hong, Hao-Chiao ; Wu, Po-Chih ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1285-1295
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    Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators
    Chin, Chi-Hang ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1361-1372
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators
    Liu, Yu-Chia ; Chen, Wen-Chien ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), S. 1054-1065
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    A Three-Axis CMOS-MEMS Accelerometer Structure With Vertically Integrated Fully Differential Sensing Electrodes
    Tsai, Ming-Han ; Fang, Weileun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-12-01), S. 1329-1337
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    High-$Q$ Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    Chen, Wen-Chien ; Fang, Weileun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-06-01), S. 688-701
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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording
    Paul, Oliver ; Ruther, Patrick ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-12-01), S. 1439-1448
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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording–Characterization and Application
    Schwaerzle, Michael ; Hercules Pereira Neves ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-12-01), S. 1426-1435
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    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    Reinke, John ; Mukherjee, Tamal ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-10-01), S. 1105-1115
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    CMOS–MEMS Lateral Electrothermal Actuators
    Fedder, Gary K. ; Gilgunn, Peter J. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-02-01), S. 103-114
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    Huang, Chi-Ming ; Liou, Jian-Chiun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 961-972
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    Electrostatically Actuated Metal-Droplet Microswitches Integrated on CMOS Chip
    Edwards, R.T. ; Shen, Wenjiang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), S. 879-889
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    An In-Plane High-Sensitivity, Low-Noise Micro-g Silicon Accelerometer With CMOS Readout Circuitry
    Kulah, Haluk ; Najafi, Khalil ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-08-01), S. 628-635
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    A CMOS Micromachined Capacitive Tactile Sensor With High-Frequency Output
    Michael S.-C. Lu ; Ko, Cheng-Ting ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-12-01), S. 1708-1714
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    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    Carley, L.R. ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), S. 188-195
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    Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures
    Gabriel, Kaigham J. ; Zhu, Xu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-04-01), S. 93-101
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    Monolithic CMOS—MEMS Pure Oxide Tri-Axis Accelerometers for Temperature Stabilization and Performance Enhancement
    Liang, Kai-Chih ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), S. 1916-1927
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