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  1. Sun, Chih-Ming ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-06-05), S. 1275-1280
    Online unknown
  2. Wang, Linfeng ; Junhua, Xiao ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 42 (2021-03-01), S. 032401-32401
    Online unknown
  3. Zhou, Peng ; Liu, Hongying ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 19 (2004-10-13), S. 1381-1385
    Online unknown
  4. Suri, Manan ; Sahay, Shubham
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 32 (2017-10-26), S. 123001-123001
    Online unknown
  5. Rastogi, Rumi ; Pandey, Sujata
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 38 (2017), S. 015001-15001
    Online unknown
  6. Dai, Ching-Liang ; Chiu, Chin-Fon ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 15 (2004-10-09), S. 98-103
    Online unknown
  7. Simoen, Eddy ; Claeys, Cor
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 14 (1999), S. R61- (11S.)
    Online unknown
  8. Yuan, Xianghui ; Huang, Youshu ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 18 (2003-08-08), S. 881-886
    Online unknown
  9. Thewes, Roland ; Weber, Werner
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 10 (1995-11-01), S. 1432-1443
    Online unknown
  10. Klein, Jacques-Olivier ; Zhao, Weisheng ; et al.
    In: Journal of Physics D: Applied Physics, Jg. 47 (2014-09-05), S. 405003-405003
    Online unknown
  11. Fei, Liu ; Haigang, Yang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 35 (2014-10-01), S. 105011-105011
    Online unknown
  12. Jianjun, Zhou ; Yuxiao, Lu ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 35 (2014-04-01), S. 045009-45009
    Online unknown
  13. Hu, Qingsheng ; Zhang, Mingke
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 34 (2013-12-01), S. 125010-125010
    Online unknown
  14. Jun, Luo ; Yan, Wang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 34 (2013-12-01), S. 125008-125008
    Online unknown
  15. Lopez, Paula ; Blanco-Filgueira, B. ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 28 (2013-03-04), S. 045011-45011
    Online unknown
  16. Liu, Jia-Ren ; Lu, S.S. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 28 (2018-03-19), S. 065001-65001
    Online unknown
  17. Zhiliang, Hong ; Yumei, Huang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 34 (2013-03-01), S. 035004-35004
    Online unknown
  18. Fang, Weileun ; Li, Sheng-Shian ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 21 (2011-05-04), S. 065012-65012
    Online unknown
  19. Yu, Xiaomei ; Zhang, Haitao ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 18 (2008-01-21), S. 037002-37002
    Online unknown
  20. Xing, Zhang ; Yuan, Wang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 30 (2009-12-01), S. 125013-125013
    Online unknown
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