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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process
    Kinget, Peter R. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), S. 846-858
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology
    Gao, Bo ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), S. 954-962
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias
    Song, Zhen ; Yang, Sujie ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), S. 770-779
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    A Temperature-Stable Piezoelectric MEMS Oscillator Using a CMOS PLL Circuit for Temperature Sensing and Oven Control
    Rais-Zadeh, Mina ; Wu, Zhengzheng
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), S. 1747-1758
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    A Multilevel CMOS–MEMS Design Methodology Based on Response Surface Models
    Sato, N ; Kaeslin, Hubert ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-06-01), S. 609-621
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    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers
    White, Robert D. ; Cheng, Xiaoyang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-02-01), S. 104-118
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    Development of a CMOS-Based Capacitive Tactile Sensor With Adjustable Sensing Range and Sensitivity Using Polymer Fill-In
    Lin, Li-Yuan ; Liu, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-02-01), S. 119-127
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    Houston, Brian H. ; Zalalutdinov, Maxim ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 807-815
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    Process Development for CMOS-MEMS Sensors With Robust Electrically Isolated Bulk Silicon Microstructures
    Qu, Hongwei ; Xie, Huikai
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), S. 1152-1161
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology—Part II: Beam Resonators for MEMS Above IC
    Cicek, P-V ; El-Gamal, Mourad N. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-06-01), S. 730-744
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    Experimental Analysis of Vapor HF Etch Rate and Its Wafer Level Uniformity on a CMOS-MEMS Process
    Fernández, Daniel ; Valle, Juan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 401-412
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    Fabrication techniques to realize CMOS-compatible microfluidic microchannels
    Gaitan, Michael ; Zaghloul, Mona ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 10 (2001-06-01), S. 286-297
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    Hybrid postprocessing etching for CMOS-compatible MEMS
    Zincke, C. ; Geist, Jon ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 6 (1997), S. 363-372
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    High Resolution Magnetometer Based on a High Frequency Magnetoelectric MEMS-CMOS Oscillator
    Hui, Yu ; Rinaldi, Matteo ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-02-01), S. 134-143
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    Behavioral Modeling of a CMOS–MEMS Nonlinear Parametric Resonator
    Guo, Congzhong ; Fedder, Gary K.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1447-1457
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    A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language
    Machida, Katsuyuki ; Maruyama, Satoshi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-06-01), Heft 3, S. 755-767
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology—Part I: Process Development and Characterization
    T A Dusatko ; Nabki, Frederic ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-06-01), S. 720-729
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    Optimal performance of CMOS compatible IR thermoelectric sensors
    Nemirovsky, Yael ; Bochobza-Degani, O. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 9 (2000-03-01), S. 38-46
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    3-D Integration and Through-Silicon Vias in MEMS and Microsensors
    Wang, Zheyao
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-10-01), S. 1211-1244
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    A Micro Oven-Control System for Inertial Sensors
    Yang, Donguk ; Najafi, Khalil ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-06-01), S. 507-518
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