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  1. HUNG, Chi-Yuan ; BIN, ZHANG ; et al.
    In: Optical microlithography XIX (21-24 February 2006, San Jose, California, USA), 2006
    Konferenz
  2. LINYONG, PANG ; YONG, LIU ; et al.
    In: Photomask and next-generation lithography mask technology XIII (18-20 April, 2006, Yokohama, Japan), 2006
    Konferenz
  3. MARTIN, Patrick M ; PROGLER, C. J ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  4. LINYONG, PANG ; SHAMMA, Nader ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  5. HUNG, Chi-Yuan ; BIN, ZHANG ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  6. CHU, Chih-Wei ; TSAO, Becky ; et al.
    In: Optical microlithography XIX (21-24 February 2006, San Jose, California, USA), 2006
    Konferenz
  7. LIN, Benjamin ; MING FENG, SHIEH ; et al.
    In: Optical microlithography XIX (21-24 February 2006, San Jose, California, USA), 2006
    Konferenz
  8. HO, Jonathan ; YAN, WANG ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  9. YONG, LIU ; ABRAMS, Dan ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  10. BALASINSKI, Artur ; MOORE, Andrew ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  11. BAUER, Ingo ; RUSSEK, Ulrich-Andreas ; et al.
    In: Photon processing in microelectronics and photonics III (San Jose CA, 26-29 January 2004), 2004, S. 454-464
    Konferenz
  12. BAYER, Alexander ; GILLNER, Arnold ; et al.
    In: Laser precision microfabrication (Munich, 21-24 June 2003), 2003, S. 157-162
    Konferenz
  13. BOSSE, Lüdger ; KOGLIN, Andreas ; et al.
    In: Photon processing in microelectronics and photonics II (San Jose CA, 27-30 January 2003), 2003, S. 473-480
    Konferenz
  14. KLAGES, Kilian ; GILLNER, Arnold ; et al.
    In: Laser precision microfabrication (Munich, 21-24 June 2003), 2003, S. 303-307
    Konferenz
  15. OLOWINSKY, A ; BOSSE, L
    In: Smart sensors, actuators, and MEMS (Maspalomas, 19-21 May 2003), 2003, S. 285-294
    Konferenz
  16. BOSSE, Lüdger ; GILLNER, A ; et al.
    In: In-line characterization, yield, reliability, and failure analysis in microelectronic manufacturing II (Edinburgh, 31 May - 1 June 2001), 2001, S. 76-81
    Konferenz
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md 768 - 992
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