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    Low voltage actuated RF micromechanical switches fabricated using CMOS-MEMS technique
    DAI, Ching-Liang ; CHEN, Jing-Han
    In: Microsystem technologies, Jg. 12 (2006), Heft 12, S. 1143-1151
    Online academicJournal
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    SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers
    IVANOV, P ; LACONTE, J ; et al.
    In: Special issue: Symposium on design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS, Montreux, Switzerland, 12-14 May 2004, Jg. 12 (2005), Heft 1-2, S. 160-168
    Online Konferenz
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    Micro-hotplate based temperature stabilization system for CMOS SAW resonators
    ANIS NURASHIKIN, NORDIN ; VOICULESCU, Ioana ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 15 (2009), Heft 8, S. 1187-1193
    Online academicJournal
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    A circular micromirror array fabricated by a maskless post-CMOS process
    CHENG, Y. C ; DAI, C.-L ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 11 (2005), Heft 6, S. 444-451
    Online academicJournal
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    A micromachined tunable resonator fabricated by the CMOS post-process of etching silicon dioxide
    DAI, Ching-Liang ; YU, Wei-Chiang
    In: Microsystem technologies, Jg. 12 (2006), Heft 8, S. 766-772
    Online academicJournal
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    Why CMOS-integrated transducers? A review
    WITVROUW, A ; VAN STEENKISTE, F ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 6 (2000), Heft 5, S. 192-199
    Online academicJournal
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    Digitally-controlled array of solid-state microcoolers for use in surgery
    CARMO, J. P ; SILVA, M. F ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 17 (2011), Heft 8, S. 1283-1291
    Online academicJournal
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    Microstructures for characterization of seebeck coefficient of doped polysilicon films
    JIN, XIE ; CHENGKUO, LEE ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 17 (2011), Heft 1, S. 77-83
    Online academicJournal
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    A low-cost through via interconnection for ISM WLP
    JINGLI, YUAN ; JEUNG, Won-Kyu ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 15 (2009), Heft 8, S. 1273-1277
    Online academicJournal
    Zugriff:
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