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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control
    Li, Wei-Chang ; Hsu, Cheng-En
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), S. 1415-1417
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators
    Liu, Yu-Chia ; Chen, Wen-Chien ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), S. 1054-1065
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    Experimental Analysis of Vapor HF Etch Rate and Its Wafer Level Uniformity on a CMOS-MEMS Process
    Fernández, Daniel ; Valle, Juan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 401-412
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    Hybrid postprocessing etching for CMOS-compatible MEMS
    Zincke, C. ; Geist, Jon ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 6 (1997), S. 363-372
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    Planar cmos compatible process for the fabrication of buried microchannels in silicon, using porous-silicon technology
    Pagonis, D. N. ; Kaltsas, Grigoris ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-12-01), S. 863-872
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    Ultrathin Silicon Chips of Arbitrary Shape by Etching Before Grinding
    Herwik, Stanislav ; Paul, Oliver ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-08-01), S. 791-793
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    Tungsten-Based SOI Microhotplates for Smart Gas Sensors
    Gardner, Julian W. ; Udrea, Florin ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-12-01), S. 1408-1417
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    Polycrystalline silicon-germanium films for integrated microsystems
    Heck, John ; King, Tsu-Jae ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-04-01), S. 160-171
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    Silicon Germanium as a Novel Mask for Silicon Deep Reactive Ion Etching
    Serry, Mohamed ; Ibrahem, Mohamed ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), S. 1081-1088
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    Flexible, dry-released process for aluminum electrostatic actuators
    Borkholder, David A. ; Suh, John W. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 3 (1994), S. 90-96
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    PHET, an electrodeless photovoltaic electrochemical etchstop technique
    Puers, Robert ; Sansen, Willy ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 3 (1994), S. 113-123
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