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In: Design, characterization, and packaging for MEMS and microelectronics (Royal Pines Resort, 27-29 October 1999), 1999, S. 10-19KonferenzZugriff:
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In: Design, characterization, and packaging for MEMS and microelectronics (Royal Pines Resort, 27-29 October 1999), 1999, S. 376-387KonferenzZugriff: