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    UV curing effects on mechanical and electrical performances of a PECVD non-porogen porous SiOC:H films (in k [2.2-2.4] range) for 45 nm node and below
    CHAPELON, L. L ; VITIELLO, J ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2136-2141
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    New techniques to characterize properties of advanced dielectric barriers for sub-65 nm technology node
    VITIELLO, J ; DUCOTE, V ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2130-2135
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Correlation between electromigration and Cu-contact angle after de-wetting
    VANYPRE, T ; CORDEAU, M ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2373-2376
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Impact of introducing CuSiN self-aligned barriers in advanced copper interconnects
    CHHUN, S ; GOSSET, L. G ; et al.
    In: Proceedings of the ninth european workshop on materials for advanced metallization 2005, 6-9 March 2005, Dresden, Germany, Jg. 82 (2005), Heft 3-4, S. 587-593
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
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