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  1. Honda, T. ; Oh, C. B. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 24 (2006-03-01), Heft 2, S. 1013-1016
    academicJournal
  2. Hung, Shih-Che ; Shiu, Shu-Chia ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 27 (2009-05-01), Heft 3, S. 1156-1160
    academicJournal
  3. Liang, Eih-Zhe ; Hung, Shih-Che ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008), Heft 1, S. 110-116
    academicJournal
  4. Oki, H. ; Kinoshita, A. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 27 (2009-03-01), Heft 2, S. 761-765
    academicJournal
  5. Jacobson, Peter ; Li, Shao-Chun ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008-11-01), Heft 6, S. 2236-2240
    academicJournal
  6. Liu, Chang ; Eng Fong Chor ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 25 (2007-05-01), Heft 3, S. 754-759
    academicJournal
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