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    High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    CHEN, Wen-Chien ; WEILEUN, FANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 688-701
    Online academicJournal
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    Behavioral Modeling of a CMOS-MEMS Nonlinear Parametric Resonator
    CONGZHONG, GUO ; FEDDER, Gary K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1447-1457
    Online academicJournal
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    Development of a CMOS-Based Capacitive Tactile Sensor With Adjustable Sensing Range and Sensitivity Using Polymer Fill-In
    LIU, Yu-Chia ; SUN, Chih-Ming ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 1, S. 119-127
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
    DEHUI, XU ; BIN, XIONG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 6, S. 1331-1340
    Online academicJournal
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    Volltext
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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications
    WITVROUW, Ann ; HASPESLAGH, Luc ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
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    Volltext
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    CMOS-MEMS Lateral Electrothermal Actuators
    GILGUNN, Peter J ; JINGWEI, LIU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 103-114
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit
    VERD, Jaume ; ABADAL, G ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 14 (2005), Heft 3, S. 508-519
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor
    LAZARUS, Nathan ; BEDAIR, Sarah S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Process development for CMOS-MEMS sensors with robust electrically isolated bulk silicon microstructures
    HONGWEI, QU ; HUIKAI, XIE
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    High-Q solenoid inductors with a CMOS-compatible concave-suspending MEMS process
    LEI, GU ; XINXIN, LI
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1162-1172
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A CMOS compatible ultrasonic transducer fabricated with deep reactive ion etching
    RUFER, Libor ; DOMINGUES, Christian C ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1766-1776
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    FACHIN, Fabio ; NIKLES, Stefan A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers
    DOODY, Christopher B ; XIAOYANG, CHENG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 1, S. 104-118
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    REINKE, John ; FEDDER, Gary K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Electrostatically actuated metal-droplet microswitches integrated on CMOS chip
    WENJIANG, SHEN ; EDWARDS, R. Timothy ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 879-889
    Online academicJournal
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology-Part II: Beam Resonators for MEMS Above IC
    NABKI, Frederic ; CICEK, Paul-Vahe ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 730-744
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    HAO, LUO ; GANG, ZHANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 11 (2002), Heft 3, S. 188-195
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A Two-Dimensional MEMS Scanning Mirror Using Hybrid Actuation Mechanisms With Low Operation Voltage
    KAH HOW, KOH ; LEE, Chengkuo
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 5, S. 1124-1135
    Online academicJournal
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    A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures
    TAKAO, Hidekuni ; ICHIKAWA, Takehiko ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 919-926
    Online academicJournal
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    An integrated floating-electrode electric microgenerator
    WEI, MA ; RUIQING, ZHU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 1, S. 29-37
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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