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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 744-754Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), S. 846-858Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-04-01), Heft 2, S. 248-254Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 978-983Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), S. 770-779Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), S. 958-967Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), Heft 1, S. 14-24Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 3, S. 242-248Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-06-01), S. 621-634Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-12-01), S. 1439-1448Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 961-972Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 14 (2005-06-01), S. 508-519Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-06-01), S. 708-716Online unknownZugriff: