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    Fabrication and Measurement of a Suspended Nanochannel Microbridge Resonator Monolithically Integrated with CMOS Readout Circuitry
    Torres, Francesc ; Marigo, E. ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 7 (2015-12-23), Heft 3
    Online unknown
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    CMOS MEMS Fabrication Technologies and Devices
    Qu, Hongwei
    In: Micromachines, Jg. 7 (2016-01-21), S. 14-14
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Simple and Efficient AlN-Based Piezoelectric Energy Harvesters
    Klempa, Jaroslav ; Brodský, Jan ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-01-28), S. 143-143
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Resistance Switching Statistics and Mechanisms of Pt Dispersed Silicon Oxide-Based Memristors
    Samanta, Subhranu ; Liqun, Lu ; et al.
    In: Micromachines, 2019-06-01
    Online unknown
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    Fabrication of All-GaN Integrated MIS-HEMTs with High Threshold Voltage Stability Using Supercritical Technology
    Liu, Meihua ; Li, Lei ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 12 (2021-05-01), Heft 572
    Online unknown
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Cost-Efficient Wafer-Level Capping for MEMS and Imaging Sensors by Adhesive Wafer Bonding
    Vogl, Andreas ; Lietaer, Nicolas ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 7 (2016-10-01), Heft 10
    Online unknown
    Zugriff:
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  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Hard-Baked Photoresist as a Sacrificial Layer for Sub-180 °C Surface Micromachining Processes
    Tawfik, Hani H. ; El-Gamal, Mourad N. ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 9 (2018-05-11), S. 231-231
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
md 768 - 992
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