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    Investigation of palladium current collectors for vertical graphene-based microsupercapacitors
    Rattanasawatesun, T. ; Lundgren, Per ; et al.
    In: Journal of Physics: Conference Series, Jg. 1319 (2019-09-01), S. 012007-12007
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    BCB Bonding Technology of Back-Side Illuminated COMS Device
    G Q Jiang ; Wu, Y ; et al.
    In: Journal of Physics: Conference Series, Jg. 986 (2018-03-01), S. 012023-12023
    Online unknown
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    Numerical simulation of surface diffusion motion and its application in MEMS fabrication
    Zhang, Yujie ; Ye, Wenjing ; et al.
    In: Journal of Physics: Conference Series, Jg. 1303 (2019-08-01), S. 012024-12024
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Design of novel mechanical coupling for contour mode piezoelectric RF MEMS filters
    Stephanou, P.J. ; Pisano, Albert P. ; et al.
    In: Journal of Physics: Conference Series, Jg. 34 (2006-04-01), S. 342-349
    Online unknown
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    Design and fabrication of ultrathin silicon-nitride membranes for use in UV-visible airgap-based MEMS optical filters
    Ghaderi, Mohammadamir ; Wolffenbuttel, Reinoud F.
    In: Journal of Physics: Conference Series, Jg. 757 (2016-10-01), S. 012032-12032
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
md 768 - 992
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