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    High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    CHEN, Wen-Chien ; WEILEUN, FANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 688-701
    Online academicJournal
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    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process
    EMINOGLU, Selim ; MAHMUD YUSUF, TANRIKULU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications
    WITVROUW, Ann ; HASPESLAGH, Luc ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
    ZIMMER, Fabian ; LAPISA, Martin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 564-572
    Online academicJournal
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    Volltext
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    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor
    LAZARUS, Nathan ; BEDAIR, Sarah S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology-Part I: Process Development and Characterization
    NABKI, Frederic ; DUSATKO, Tomas A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 720-729
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    FACHIN, Fabio ; NIKLES, Stefan A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers
    DOODY, Christopher B ; XIAOYANG, CHENG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 1, S. 104-118
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology-Part II: Beam Resonators for MEMS Above IC
    NABKI, Frederic ; CICEK, Paul-Vahe ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 730-744
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Optimal performance of CMOS compatible ir thermoelectric sensors
    SOCHER, E ; BOCHOBZA-DEGANI, O ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (1999), Heft 1, S. 38-46
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Fluidic heterogeneous microsystems assembly and packaging
    WEI, ZHENG ; CHUNG, Jaehoon ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 864-870
    Online academicJournal
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    Manufacturing and packaging of sensors for their integration in a vertical MCM microsystem for biomedical applications
    GOTZ, Andreas ; GRACIA, Isabel ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 4, S. 569-579
    Online academicJournal
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    Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution
    BAGOLINI, Alvise ; FAES, Alessandro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259
    Online academicJournal
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    Ultrathick and high-aspect-ratio nickel microgyroscope using EFAB multilayer additive electroforming
    ALPER, Said Emre ; OCAK, Ilker Ender ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1025-1035
    Online academicJournal
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    Low-temperature wafer-level transfer bonding
    NIKLAUS, Frank ; ENOKSSON, Peter ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 4, S. 525-531
    Online academicJournal
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    Trench-Hall devices
    VANHA, R. S ; KROENER, F ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (1999), Heft 1, S. 82-87
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Germanium as a versatile material for low-temperature micromachining
    BIAO, LI ; BIN, XIONG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 4, S. 366-372
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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