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    Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates
    ELGAID, Khaled ; MCCLOY, David A ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 417-421
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of dielectric lens supported, antenna coupled, warm-carrier devices
    YASUOKA, Yoshizumi ; SUZUKI, Kenji ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 496-501
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Superconducting coplanar nanolines with 50 nm linewidth
    WEIMANN, Th ; HINZE, P ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 363-368
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Low-loss microwave interconnections by using polymeric based coplanar waveguides on low resistivity silicon substrates
    MARCELLI, Romolo ; CATONI, Simone ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 85 (2008), Heft 2, S. 425-431
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Design and fabrication of a new micromachined interdigital coplanar waveguide
    SUN, Xiao-Feng ; DING, Gui-Fu ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 37 (2006), Heft 11, S. 1379-1383
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Innovative micromachined microwave switch with very low insertion loss
    CHIENLIU, CHANG ; PEIZEN, CHANG
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 79 (2000), Heft 1, S. 71-75
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Fabrication and characterization of thick porous silicon layers for rf circuits
    YOU, S. Z ; LONG, Y. F ; et al.
    In: Selected papers from the Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Jg. 108 (2003), Heft 1-3, S. 117-120
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    MEMS-based series and shunt variable capacitors for microwave and millimeter-wave frequencies
    ZHIPING, FENG ; HUANTONG, ZHANG ; et al.
    In: Selected papers from the Technical Digest of the 2000 Solid-State Sensors and Actuators Workshop, Hilton Head Island, SC, USA, 4-8 June, Jg. 91 (2001), Heft 3, S. 256-265
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Ag(Ta,Nb)O3 thin-film interdigital capacitors for microwave applications
    YOU, Hee-Wook ; KOH, Jung-Hyuk
    In: Microelectronics journal, Jg. 38 (2007), Heft 2, S. 222-226
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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