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    A Plasma Enhanced CVD Technology for Solving Issues on Sidewall Deposition in Trenches and Holes
    Shiratani, Masaharu ; Kamataki, Kunihiro ; et al.
    In: 2022 17th International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT), 2022-10-26, S. 1-3
    Konferenz
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    Effect of Post Growth Annealing on Phase Transition Parameters in LP CVD Grown Vanadium Dioxide Thin Films
    Kapoguzov, Kirill E. ; Mutilin, Sergey V. ; et al.
    In: 2020 21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM), 2020-06-01, S. 28-31
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Develop gap-fill process of shallow trench isolation in 450mm wafer by advanced Flowable CVD technology for sub-20nm node
    Chen, Min-Hui ; Chang, Stock
    In: 2016 27th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2016-05-01, S. 157-159
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Localized heating to tungsten oxide nanostructures deposition on gas microsensor arrays via aerosol assisted CVD
    Vallejos, S. ; Cumeras, R. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1166-1169
    Konferenz
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    Growth Difference of Amorphous Silicon Between Plasma Enhanced and Catalytic CVD Based on Silicon Heterojunction Solar Cells
    Zhang, Liping ; Chen, Renfang ; et al.
    In: 2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference (PVSC), 2017-06-01, S. 1241-1244
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    High-electrical-resistivity CVD diamond films with tri-layer UNCD-MCD-UNCD structures for 3DIC applications
    Chen, Poying ; Jiang, Jiheng ; et al.
    In: 2013 13th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO 2013), 2013-08-01, S. 121-124
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    PPPS-2013: Infrared gas phase studies and scaling parameters in PE-CVD processes at atmospheric pressure using high-current dielectric barrier discharges
    Welzel, S. ; Engeln, R. ; et al.
    In: 2013 Abstracts IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS), 2013-06-01, S. 1-1
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Area-Selective MOCVD Synthesis of VO2(B) and VO2(M) Phases on a Si Substrate
    Lysenko, Nikita I. ; Mutilin, Sergey V. ; et al.
    In: 2021 IEEE 22nd International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), 2021-06-30, S. 79-82
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Low Temperature and Fast Growth of Polycrystalline MoS2 Films using Low Temperature Sublimation Sources
    Medina, Henry ; Tong, Shi Wun ; et al.
    In: 2019 Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM), 2019-03-01, S. 440-442
    Konferenz
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    Effect of Nitrogen Flow on the Growth of Nitrogen Ultrananocrystalline Diamond (N-UNCD) Films on Si/SiO2/HfO2 Substrate
    Villarreal, Daniel ; Wittel, Frederick P. ; et al.
    In: 2019 7th International Engineering, Sciences and Technology Conference (IESTEC), 2019-10-01, S. 78-84
    Konferenz
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Properties of Cu2ZnSnS4 films elaborated by modified spray process
    Bouzida, Samira ; Benamar, El Bachir ; et al.
    In: 2016 International Renewable and Sustainable Energy Conference (IRSEC), 2016-11-01, S. 179-181
    Konferenz
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Low temperature process below 170 °C for hydrophilic and hydrophobic micro patterns
    Nakagami, C. ; Tonomura, W. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1111-1114
    Konferenz
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Boron doped amorphous carbon on n-type silicon with low negative bias by using palm oil precursor
    Ishak, A. ; Affendi, Irma Hidayanti ; et al.
    In: 2014 International Symposium on Technology Management and Emerging Technologies, 2014-05-01, S. 178-182
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Electrical and structural properties of nanotetrapod zinc oxide thin films prepared with different deposition temperature
    Azhar, N. E. A. ; Shariffudin, S. S. ; et al.
    In: 2014 International Symposium on Technology Management and Emerging Technologies, 2014-05-01, S. 188-192
    Konferenz
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Synthesis and characterization of 2D layered materials: The case of hexagonal boron nitride
    Ismach, Ariel
    In: 14th IEEE International Conference on Nanotechnology, 2014-08-01, S. 898-899
    Konferenz
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
    Petukhova, Darya E. ; Kichay, Vadim N. ; et al.
    In: 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), 2023-06-29, S. 40-44
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Patterned carbon nanotubes semitransparent electrodes
    Ciceroni, C. ; Mincuzzi, G. ; et al.
    In: 14th IEEE International Conference on Nanotechnology, 2014-08-01, S. 698-701
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Investigation of High Performance Perovskite-based Solar Cells Grown by Hybrid Chemical Vapor Deposition Technique
    Gokkaya, Huseyin Cem ; Qian, Shen ; et al.
    In: 2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference (PVSC), 2017-06-01, S. 958-962
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Grain size effect of monolayer MoS2 transistors characterized by second harmonic generation mapping
    Lin, Chih-Pin ; Lyu, Li-Syuan ; et al.
    In: 2015 IEEE 22nd International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits, 2015-06-01, S. 476-479
    Konferenz
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Electrical characterization of graphene-like films at microscopic and macroscopic scale
    Francesca, K. Dalla ; Noel, S. ; et al.
    In: 2014 IEEE 60th Holm Conference on Electrical Contacts (Holm), 2014-10-01, S. 1-8
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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