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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754Online academicJournalZugriff: