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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 864-870Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259Online academicJournalZugriff: