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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), Heft 5, S. 1192-1200Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), Heft 5, S. 1150-1162Online academicJournalZugriff: