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    Influence of Wafer Preclean before Selective Tungsten CVD on Surface Properties of Interconnect and Intermetal Dielectric Materials : Thin films
    Schulz, S. E. ; Hintze, B. ; et al.
    In: PHYSICA STATUS SOLIDI A APPLIED RESEARCH, Jg. 145, Heft 2, S. 311-318
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Diamond Films CVD in Methane/Air Induction Plasma Jet : Thin films
    Trukhanov, A. S. ; Bykova, N. G. ; et al.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Laser CVD on Carbon Fibres: Structure of Layers and Tensile Strength of Fibres : Thin films
    Hopfe, V. ; Jaeckel, R. ; et al.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Nucleation, Growth and Modification of Polycristalline Diamond Films Prepared by HCAP CVD : Thin films
    Laufer, S. ; Ullmann, J. ; et al.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Deposition of Si-C-N Films by Metalorganic Plasma CVD : Thin films
    Peter, S. ; Pintaske, R. ; et al.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Characterization of the Plasma Enhanced CVD Process Using Optical Emission Spectroscopy : Thin films
    Pintaske, R. ; Peter, S. ; et al.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Influence of Wafer Preclean before Selective Tungsten CVD on Surface Properties of Interconnect and Intermetal Dielectric Materials : Thin films
    Schulz, S. E. ; Hintze, B. ; et al.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Diamond CVD - a Status Report : Thin films
    Klages, C. P.
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
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