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    プラズマCVDによる高速製膜技術を用いた微結晶Si太陽電池の高効率化
    利彦, 外山
    In: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編, Jg. 86 (2010), Heft 1, S. 21-27
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    プラズマCVDによる高速製膜技術を用いた微結晶Si太陽電池の高効率化
    利彦, 外山
    In: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編, Jg. 86 (2010), Heft 1, S. 21-27
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVDによる多結晶Siの高速成膜プロセスにおける成膜速度の決定因子
    宏昌, 大参 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-11-01), Heft 11, S. 1418-1422
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVDによる多結晶Siの高速成膜プロセスにおける成膜速度の決定因子
    宏昌, 大参 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-11-01), Heft 11, S. 1418-1422
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiCの高速成膜に関する研究(第2報)成膜パラメータの最適化による膜構造の改善
    弘章, 垣内 ; 宏昌, 大参 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-08-01), Heft 8, S. 1075-1079
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiCの高速成膜に関する研究(第2報)成膜パラメータの最適化による膜構造の改善
    弘章, 垣内 ; 宏昌, 大参 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-08-01), Heft 8, S. 1075-1079
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVD法により高速形成したSiNx薄膜の構造と成膜パラメータの相関
    弘章, 垣内 ; 康治, 中濱 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-07-01), Heft 7, S. 956-960
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVD法により高速形成したSiNx薄膜の構造と成膜パラメータの相関
    弘章, 垣内 ; 康治, 中濱 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-07-01), Heft 7, S. 956-960
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVDによる超高速形成アモルファスSiを発電層とした薄膜太陽電池の基礎特性
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-04-01), Heft 4, S. 562-567
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVDによる超高速形成アモルファスSiを発電層とした薄膜太陽電池の基礎特性
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-04-01), Heft 4, S. 562-567
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    大気圧プラズマCVD法によるSiNxの成膜特性
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-02-01), Heft 2, S. 292-296
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    大気圧プラズマCVD法によるSiNxの成膜特性
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004-02-01), Heft 2, S. 292-296
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    回転電極型大気圧プラズマCVD法による多結晶Siの成膜特性
    勇蔵, 森 ; 熊安, 芳井 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004), Heft 1, S. 144-148
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    回転電極型大気圧プラズマCVD法による多結晶Siの成膜特性
    勇蔵, 森 ; 熊安, 芳井 ; et al.
    In: 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編, Jg. 70 (2004), Heft 1, S. 144-148
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    大気圧プラズマCVD法による太陽電池用アモルファスSiの超高速成膜
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編, Jg. 68 (2002-08-01), Heft 8, S. 1077-1081
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    大気圧プラズマCVD法による太陽電池用アモルファスSiの超高速成膜
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編, Jg. 68 (2002-08-01), Heft 8, S. 1077-1081
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    大気圧プラズマCVD法の開発
    弘章, 垣内
    In: 生産と技術 = Manufacturing & technology / 大阪大学生産技術研究会 編, Jg. 54 (2002), Heft 1, S. 46-49
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    大気圧プラズマCVD法の開発
    弘章, 垣内
    In: 生産と技術 = Manufacturing & technology / 大阪大学生産技術研究会 編, Jg. 54 (2002), Heft 1, S. 46-49
    academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiの高速成膜に関する研究(2)成膜速度の高速化
    勇藏, 森 ; 熊安, 芳井 ; et al.
    In: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編, Jg. 66 (2000-10-01), Heft 10, S. 1636-1640
    academicJournal
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    大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiCの高速成膜に関する研究(第1報)成膜速度および膜構造の検討
    勇藏, 森 ; 弘章, 垣内 ; et al.
    In: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編, Jg. 66 (2000-06-01), Heft 6, S. 907-911
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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