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  1. Wu, Lishu ; Cheng, Wei ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 39 (2018-04-18), S. 054004-54004
    Online unknown
  2. Clark, D. T. ; D L Gordon ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 32 (2017-04-25), S. 054003-54003
    Online unknown
  3. Li, Bin ; Zhang, Xu ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 36 (2015-10-01), S. 105003-105003
    Online unknown
  4. Robadey, J ; Paul, Oliver ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 5 (1995-09-01), S. 243-250
    Online unknown
  5. Duvvury, Charvaka ; Amerasekera, Ajith
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 11 (1996-06-01), S. 833-850
    Online unknown
  6. Yuanfu, Zhao ; Lin, Liu ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 36 (2015-11-01), S. 111002-111002
    Online unknown
  7. Lang, M ; Glesner, Manfred
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 7 (1997-09-01), S. 193-195
    Online unknown
  8. Na, Yan ; Jie, Sun ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 35 (2014-10-01), S. 105002-105002
    Online unknown
  9. Yan, Liu ; Xinggang, Tang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 35 (2014-09-01), S. 095004-95004
    Online unknown
  10. Lopez-Villegas, J.M. ; Bausells, Joan ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 7 (1997-09-01), S. 162-164
    Online unknown
  11. Jun, Yan ; Zheng, Gong ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 34 (2013-09-01), S. 095004-95004
    Online unknown
  12. Haigang, Yang ; Hongfeng, Zhang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 34 (2013-07-01), S. 075006-75006
    Online unknown
  13. Yu-Chia, L ; Fang, W. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 23 (2013-03-25), S. 055007-55007
    Online unknown
  14. Nakagawa, Hiroshi ; Kato, Fumiki ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 23 (2013-01-21), S. 025020-25020
    Online unknown
  15. Zhiliang, Hong ; Yumei, Huang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 34 (2013-03-01), S. 035004-35004
    Online unknown
  16. Fan, Long-Sheng ; Chen, C. S. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 20 (2010-03-17), S. 045017-45017
    Online unknown
  17. Ruyu, Fan ; Li-Li, Ding ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 33 (2012-06-01), S. 064006-64006
    Online unknown
  18. Zhigong, Wang ; Xian, Li ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 32 (2011-11-01), S. 115003-115003
    Online unknown
  19. Chang, Chao-Min ; Lin, Jhih-Min ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 18 (2008-10-22), S. 115032-115032
    Online unknown
  20. Lee, Tung-Hsing ; Chiang, Yen-Ting ; et al.
    In: Journal of Physics D: Applied Physics, Jg. 41 (2008-01-28), S. 045101-45101
    Online unknown
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