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    A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language
    KONISHI, Toshifumi ; MACHIDA, Katsuyuki ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 755-767
    Online academicJournal
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    Behavioral Modeling of a CMOS-MEMS Nonlinear Parametric Resonator
    CONGZHONG, GUO ; FEDDER, Gary K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1447-1457
    Online academicJournal
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    Volltext
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    A Multilevel CMOS-MEMS Design Methodology Based on Response Surface Models
    SATO, Norio ; SATO, Yasuhiro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 609-621
    Online academicJournal
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    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process
    EMINOGLU, Selim ; MAHMUD YUSUF, TANRIKULU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    REINKE, John ; FEDDER, Gary K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    LIOU, Jian-Chiun ; TSENG, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
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    A Two-Dimensional MEMS Scanning Mirror Using Hybrid Actuation Mechanisms With Low Operation Voltage
    KAH HOW, KOH ; LEE, Chengkuo
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 5, S. 1124-1135
    Online academicJournal
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    A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures
    TAKAO, Hidekuni ; ICHIKAWA, Takehiko ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 919-926
    Online academicJournal
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    Room-Temperature Fabrication of Anodic Tantalum Pentoxide for Low-Voltage Electrowetting on Dielectric (EWOD)
    YIFAN, LI ; PARKES, William ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1481-1488
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Selective Transfer Technology for Microdevice Distribution
    GUERRE, Roland ; DRECHSLER, Ute ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 157-165
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Nanomechanical Proximity Perturbation for Switching in Silicon-Based Directional Couplers for High-Density Photonic Integrated Circuits
    CHATTERJEE, Rohit ; CHEE WEI, WONG
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 657-662
    Online academicJournal
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    Piezo-FET stress-sensor arrays for wire-bonding characterization
    DOELLE, Michael ; PETERS, Christian ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 1, S. 120-130
    Online academicJournal
    Zugriff:
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