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    A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language
    KONISHI, Toshifumi ; MACHIDA, Katsuyuki ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 755-767
    Online academicJournal
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    Behavioral Modeling of a CMOS-MEMS Nonlinear Parametric Resonator
    CONGZHONG, GUO ; FEDDER, Gary K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1447-1457
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A Multilevel CMOS-MEMS Design Methodology Based on Response Surface Models
    SATO, Norio ; SATO, Yasuhiro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 609-621
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process
    EMINOGLU, Selim ; MAHMUD YUSUF, TANRIKULU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
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    Glass and Quartz Microscintillators for CMOS-Compatible Multispecies Radiation Detection
    WAGUESPACK, Randy P ; PELLEGRIN, Scott M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 5, S. 1192-1200
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- \mu \textm CMOS Chips.
    Cheng, Zhengxi ; Toshiyoshi, Hiroshi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), Heft 6, S. 1435-1441
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    REINKE, John ; FEDDER, Gary K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    LIOU, Jian-Chiun ; TSENG, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    A multilink active catheter with polyimide-based integrated CMOS interface circuits
    PARK, K.-T ; ESASHI, M
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 4, S. 349-357
    Online academicJournal
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    A micro active probe device compatible with SOI-CMOS technologies
    YI, Y.-W ; KONDOH, Y ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 3, S. 242-248
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    High-Q Solenoid Inductors With a CMOS-Compatible Concave-Suspending MEMS Process.
    Gu, Lei ; Li, Xinxin
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), Heft 5, S. 1162-1172
    Online academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    CMOS Compatible Midinfrared Wavelength-Selective Thermopile for High Temperature Applications.
    Zhou, Huchuan ; Kropelnicki, Piotr ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-02-01), Heft 1, S. 144-154
    Online academicJournal
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead.
    Liou, Jian-Chiun ; Tseng, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A multilink active catheter with polyimide-based integrated CMOS interface circuits.
    Park, Ki-Tae ; Esashi, Masayoshi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 8 (1999-12-01), Heft 4, S. 349-357
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    High-performance condenser microphone with fully integrated CMOS amplifier and DC-DC voltage...
    Pedersen, Michael ; Olthuis, Wouter
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 7 (1998-12-01), Heft 4, S. 387-394
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Fabrication techniques to realize CMOS-compatible microfluidic microchannels.
    Rasmussen, Angela ; Gaitan, Michael ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 10 (2001-06-01), Heft 2, S. 286-297
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    An In-Plane High-Sensitivity, Low-Noise Micro-g Silicon Accelerometer With CMOS Readout Circuitry.
    Chae, Junscok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-08-01), Heft 4, S. 628-635
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A Two-Dimensional MEMS Scanning Mirror Using Hybrid Actuation Mechanisms With Low Operation Voltage
    KAH HOW, KOH ; LEE, Chengkuo
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 5, S. 1124-1135
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures
    TAKAO, Hidekuni ; ICHIKAWA, Takehiko ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 919-926
    Online academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Room-Temperature Fabrication of Anodic Tantalum Pentoxide for Low-Voltage Electrowetting on Dielectric (EWOD)
    YIFAN, LI ; PARKES, William ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1481-1488
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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