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In: DESIGN TEST INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS MOEMS, 2003, S. 176-180KonferenzZugriff:
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In: DESIGN TEST INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS MOEMS, 2003, S. 214-217KonferenzZugriff:
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In: DESIGN TEST INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS MOEMS, 2003, S. 95-98KonferenzZugriff: