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    Profile control in BF3 plasma doping
    Kwok, Dixon T. K. ; Chu, Paul K. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 88 (2000-09-15), S. 3198-3201
    Online unknown
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    Accurate determination of pulsed current waveform in plasma immersion ion implantation processes
    Tang, Baoyin ; Tian, Xiubo ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 86 (1999-10-01), S. 3567-3570
    Online unknown
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    Using point defect engineering to reduce the effects of energy nonmonochromaticity of B ion beams on shallow junction formation
    Chu, Wei-Kan ; Shao, Lin ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 96 (2004-07-01), S. 919-921
    Online unknown
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    Defects and ion redistribution in implant‐isolated GaAs‐based device structures
    Abernathy, C. R. ; Ren, Fan ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 74 (1993-12-01), S. 6580-6586
    Online unknown
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    Transmission electron microscopy study of N+‐implanted silicon on insulator by energy‐filtered imaging
    Du, A. Y. ; Chu, Y. M. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 70 (1991-08-01), S. 1850-1852
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    Effects of long pulse width and high pulsing frequency on surface superhydrophobicity of polytetrafluoroethylene in quasi-direct-current plasma immersion ion implantation
    Kelvin W.K. Yeung ; Kwok, Dixon T. K. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 105 (2009-03-01), S. 053302-53302
    Online unknown
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    Rapid thermal annealing of dopants implanted into preamorphized silicon
    Chu, Paul K. ; Schwartz, B. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 58 (1985-07-15), S. 683-687
    Online unknown
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    Photovoltaic properties of CdTep‐njunctions produced by ion implantation
    Gibbons, James F. ; Fahrenbruch, Alan L. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 49 (1978), S. 322-326
    Online unknown
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    Silicided shallow junction formation by ion implantation of impurity ions into silicide layers and subsequent drive‐in
    Lee, S. K. ; Alvi, N. S. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 61 (1987-06-01), S. 5084-5088
    Online unknown
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