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    Formation of titanium silicide thin films on Si(100) substrate by RF plasma CVD : Frontiers of surface engineering
    Fouad, O. A. ; Yamazato, M. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 632-635
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Synthesis of silica films on a polymeric material by plasma-enhanced CVD using tetramethoxysilane : Frontiers of surface engineering
    Teshima, K. ; Inoue, Y. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 583-586
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Encapsulation of abrasive particles by plasma CVD : Frontiers of surface engineering
    Karches, M. ; Morstein, M. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 544-548
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Damage processes and substrate surface design for CVD diamond films : Frontiers of surface engineering
    Kameoka, S. ; Motonishi, S. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 316-320
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    CVD diamond coating on WC-Co cutting tool using ECR MPCVD apparatus via electrophoretic seeding pretreatment : Frontiers of surface engineering
    Tsubota, T. ; Ida, S. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 262-265
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Mechanical properties of B-C-N films synthesized by an electron beam excited plasma-CVD method : Frontiers of surface engineering
    Hasegawa, T. ; Yamamoto, K. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 270-273
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of nitrogen included carbon materials using microwave plasma CVD : Frontiers of surface engineering
    Sakamoto, Y. ; Takaya, M.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 169-170 (2003), Heft 1/3, S. 321-323
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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