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    Design and characterization of compact digital RF MEMS capacitors and phase shifters in CMOS 0.35 µm technology
    Bakri-Kassem, Maher ; Ahmed Abdel Aziz ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 30 (2020-02-20), S. 045006-45006
    Online unknown
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    Design, fabrication and optimization of a CMOS compatible capacitive pressure sensor
    Yu, Xuke ; Yu, Huiyang ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 29 (2019-01-04), S. 025009-25009
    Online unknown
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    CMOS micromachined probes by die-level fabrication for extracellular neural recording
    Michael S.-C. Lu ; Tseng, Fouriers ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-01-09), S. 283-290
    Online unknown
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    CMOS micromachined structures using transistors in the subthreshold region for thermal sensing
    Michael S.-C. Lu ; Liu, Dong-Hang ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-07-20), S. 1734-1739
    Online unknown
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  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    A monolithically integrated torsional CMOS-MEMS relay
    Uranga, Arantxa ; Barniol, Nuria ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 26 (2016-10-05), S. 115012-115012
    Online unknown
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    CMOS-sealed membrane capacitors for medical tactile sensors
    Baltes, Henry ; Salo, T. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-03-09), S. 769-778
    Online unknown
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    Concepts for hybrid CMOS-molecular non-volatile memories
    R J Luyken ; Hofmann, F
    In: Nanotechnology, Jg. 14 (2003-01-20), S. 273-276
    Online unknown
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  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Fabrication of the planar angular rotator using the CMOS process
    Chen, Hung-Lin ; Chang, Pei-Zen ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 12 (2002-03-28), S. 247-251
    Online unknown
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  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Relative performance of three nanoscale devices - CMOS, RTDs and QCAs - against a standard computing task
    Nikolic, Konstantin ; Berzon, D. ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 12 (2001-01-19), S. 38-43
    Online unknown
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    Characterization, modelling and performance evaluation of CMOS integrated multielectrode tunable capacitor (MTC)
    Houlihan, Ruth ; O'Mahony, Conor ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 15 (2005-06-20), S. S122- (10S.)
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    CMOS integrated pressure sensor optimization using electrical network simulator-FEM tool coupling
    Cané, Carles ; Santander, Joaquin ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 9 (1999), S. 109-112
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Development of a CMOS MEMS pressure sensor with a mechanical force-displacement transduction structure
    Fang, Weileun ; Chang, Chun-I ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 25 (2015-11-09), S. 125024-125024
    Online unknown
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Two-dimensional integrated gas flow sensors by CMOS IC technology
    Robadey, J ; Paul, Oliver ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 5 (1995-09-01), S. 243-250
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Silicon single-electron tunnelling device interfaced with a CMOS inverter
    Toriumi, Akira ; Koga, Junji ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 10 (1999), S. 198-200
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Fabrication and characterization of a charge-biased CMOS-MEMS resonant gate field effect transistor
    Wang, Yu-Lin ; Chin, Chi-Hang ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 24 (2014-07-31), S. 095005-95005
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems
    Lang, M ; Glesner, Manfred
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 7 (1997-09-01), S. 193-195
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Robust thermal control for CMOS-based lab-on-chip systems
    Hall, Gordon H. ; Elliott, Duncan G. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 25 (2015-05-22), S. 075005-75005
    Online unknown
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Study of integrated RF passive components performed using CMOS and Si micromachining technologies
    Lopez-Villegas, J.M. ; Bausells, Joan ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 7 (1997-09-01), S. 162-164
    Online unknown
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A scalable neural chip with synaptic electronics using CMOS integrated memristors
    Srinivasa, Narayan ; Derosier, Timothy ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 24 (2013-09-02), S. 384011-384011
    Online unknown
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Resonant humidity sensors using industrial CMOS-technology combined with postprocessing
    Schonholzer, M ; Baltes, Henry ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 2 (1992-09-01), S. 205-207
    Online unknown
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