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    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    Wardle, Brian L. ; Nikles, S.A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-06-01), S. 621-634
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    Huang, Chi-Ming ; Liou, Jian-Chiun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 961-972
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology—Part II: Beam Resonators for MEMS Above IC
    Cicek, P-V ; El-Gamal, Mourad N. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-06-01), S. 730-744
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    A Self-Scanned Active-Matrix Tactile Sensor Realized Using Silicon-Migration Technology
    Wong, Man ; Zeng, Fan
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), S. 677-684
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    High-Performance Inductors Using Capillary Based Fluidic Self-Assembly
    Scott, K.L. ; Singh, H. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-04-01), S. 300-309
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    Highly-Conformal Sputtered Through-Silicon Vias With Sharp Superconducting Transition
    Sarro, Pasqualina M. ; Visser, S. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-04-01), S. 253-261
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    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors
    Hohimer, Cameron J. ; Christ, J. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-06-01), S. 670-677
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    Thin-Film Piezoelectric MEMS Transducer Suitable for Middle-Ear Audio Prostheses
    Urquiza, Rafael ; Daza, A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-12-01), S. 1452-1463
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    Active MEMS Valves for Flow Control in a High-Pressure Micro-Gas-Analyzer
    Bogart, G. R. ; McClain, Jaime L. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), S. 1150-1162
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    Electroless Deposition and Structuring of Silver Electrodes in Closed Microfluidic Capillaries
    Heuck, Friedjof ; Staufer, Urs
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-04-01), S. 451-459
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    High-Reflectivity Broadband Photonic Crystal Mirror MEMS Scanner With Low Dependence on Incident Angle and Polarization
    Solgaard, Olav ; Kim, Sora ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 18 (2009-08-01), S. 924-932
    Online unknown
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