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In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 12 (2013-09-25), S. 041305-41305Online unknownZugriff:
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In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 12 (2013-12-23), S. 041301-41301Online unknownZugriff:
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In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 9 (2010-10-01), S. 041206-41206Online unknownZugriff: