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    CNx coatings deposited by pulsed RF supersonic plasma jet : hardness, nitrogenation and optical properties
    HUBICKA, Z ; SICHA, M ; et al.
    In: Proceedings of the 7th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 17-21, 2000, Jg. 142-44 (2001), S. 681-687
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Titanium nitride deposited by high rate rf hollow cathode plasma jet reactive process
    BARANKOVA, H ; BARDOS, L ; et al.
    In: Vacuum, Jg. 46 (1995), Heft 12, S. 1433-1438
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A new method for film deposition in the discharge of target metal vapour
    BARDOS, L ; BARANKOVA, H ; et al.
    In: Surface & coatings technology, Jg. 72 (1995), Heft 3, S. 174-180
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Copper nitride thin films prepared by the RF plasma chemical reactor with low pressure supersonic single and multi-plasma jet system
    SOUKUP, L ; SICHA, M ; et al.
    In: Proceedings of the 6th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 14-18, 1998, Jg. 116-19 (1999), S. 321-326
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The radio frequency hollow cathode discharge induced by the RF discharge in the plasma-jet chemical reactor
    TOUS, J ; SICHA, M ; et al.
    In: Contributions to plasma physics (1985), Jg. 42 (2002), Heft 1, S. 119-131
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Abnormal high rate deposition of TiN films by the radio frequency plasma jet system
    BARANKOVA, H ; BARDOS, L ; et al.
    In: Journal of the Electrochemical Society, Jg. 142 (1995), Heft 3, S. 883-887
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
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