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    The impact of etch-stop layer for borderless contacts on deep submicron CMOS device performance—a comparative study
    Sudijono, J. L. ; Sanford, C. ; et al.
    In: Thin Solid Films, 2004-09-01, S. 29-33
    Online unknown
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    Metal-germanide Schottky Source/Drain transistor on Germanium substrate for future CMOS technology
    Li, Rui ; Chi, Dongzhi ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 504 (2006-05-01), S. 28-31
    Online unknown
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    Metal gate technology for nanoscale transistors—material selection and process integration issues
    Yeo, Yee-Chia
    In: Thin Solid Films, 2004-09-01, S. 34-41
    Online unknown
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    Spin injection, transport, and read/write operation in spin-based MOSFET
    Ishikawa, Mizue ; Sugiyama, Hideyuki ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 519 (2011-09-01), S. 8266-8273
    Online unknown
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    Impact of line width roughness on the matching performances of next-generation devices
    Gustin, C. ; Decoutere, Stefaan ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 516 (2008-04-01), S. 3690-3696
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    Threshold voltage shift of submicron p-channel MOSFET due to Si surface damage from plasma etching process
    Kim, Gwan-Ha ; Kang, Young-Rog ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 515 (2007-04-01), S. 4892-4896
    Online unknown
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    SiGe channels for VT control of high-k metal gate transistors for 32nm complementary metal oxide semiconductor technology and beyond
    Beernink, Gunda ; Kammler, Thorsten ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 520 (2012-02-01), S. 3170-3174
    Online unknown
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    Selectively grown vertical Si MOS transistor with reduced overlap capacitances
    Tonnemann, A. ; Lüth, Hans ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 336 (1998-12-01), S. 306-308
    Online unknown
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  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Challenges to quantitative energy-dispersive X-ray spectrometry and its application to graded embedded silicon―germanium for high-performance complementary metal oxide semiconductor devices
    HÜBNER, R ; ENGELMANN, H.-J ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 519 (2010), Heft 1, S. 203-209
    academicJournal
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    Role of hydrogen at germanium/dielectric interfaces
    Weber, Justin R. ; Janotti, Anderson ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 517 (2008-11-01), S. 144-147
    Online unknown
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