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    Additive 3D photonic integration that is CMOS compatible
    Grabulosa, Adrià ; Moughames, Johnny ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 34 (2023-05-24), S. 322002-322002
    Online unknown
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    CMOS-MEMS technologies for the applications of environment sensors and environment sensing hubs
    Thi Thu Do ; Yang, Chia-Hung ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 31 (2021-06-10), S. 074004-74004
    Online unknown
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    Silicon electro-optic micro-modulator fabricated in standard CMOS technology as components for all silicon monolithic integrated optoelectronic systems *
    Xu, Kaikai
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 31 (2021-04-09), S. 054001-54001
    Online unknown
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    An efficient macro model for CMOS-MEMS thermal wind speed sensor
    Huang, Qing-An ; Zhang, Jia-Zhen ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 30 (2020-10-05), S. 125001-125001
    Online unknown
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    Erratum: Conductive filament evolution dynamics revealed by cryogenic (1.5 K) multilevel switching of CMOS-compatible Al2O3/TiO2 resistive memories (2020 Nanotechnology 31 445205)
    Beilliard, Yann ; Drouin, Dominique ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 31 (2020-09-24), S. 499601-499601
    Online unknown
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    Design and characterization of compact digital RF MEMS capacitors and phase shifters in CMOS 0.35 µm technology
    Bakri-Kassem, Maher ; Ahmed Abdel Aziz ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 30 (2020-02-20), S. 045006-45006
    Online unknown
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    Scalable production of p-MoTe2/n-MoS2 heterostructure array and its application for self-powered photodetectors and CMOS inverters
    Chen, Xinyu ; Chen, Honglei ; et al.
    In: 2D Materials, Jg. 9 (2022-06-07), S. 035015-35015
    Online unknown
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  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Design, fabrication and optimization of a CMOS compatible capacitive pressure sensor
    Yu, Xuke ; Yu, Huiyang ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 29 (2019-01-04), S. 025009-25009
    Online unknown
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    A maskless etching technique for fabrication of 3D MEMS structures in SOI CMOS devices
    Mansoor, Mohtashim ; Coull, John D. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 28 (2018-05-09), S. 085013-85013
    Online unknown
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Development of CMOS MEMS inductive type tactile sensor with the integration of chrome steel ball force interface
    Chang, Heng-Chung ; Yeh, Sheng-Kai ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 28 (2018-02-20), S. 044005-44005
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    AC signal characterization for optimization of a CMOS single-electron pump
    Murray, Roy ; Perron, Justin K. ; et al.
    In: Nanotechnology, Jg. 29 (2018-01-08), S. 065202-65202
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants
    Sato, Kazuo ; Gosálvez, Miguel A. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-10-10), S. 2299-2307
    Online unknown
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A novel CMOS out-of-plane accelerometer with fully differential gap-closing capacitance sensing electrodes
    Sun, Chih-Ming ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-06-05), S. 1275-1280
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    A perforated CMOS microchip for immobilization and activity monitoring of electrogenic cells
    Hierlemann, Andreas ; Lichtenberg, J. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-01-30), S. 462-471
    Online unknown
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    CMOS micromachined probes by die-level fabrication for extracellular neural recording
    Michael S.-C. Lu ; Tseng, Fouriers ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-01-09), S. 283-290
    Online unknown
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Development of a CMOS-compatible PCR chip: comparison of design and system strategies
    Barbé, Jordi ; Erill, Ivan ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 14 (2004-08-11), S. 1558-1568
    Online unknown
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Systematic study of packaging designs on the performance of CMOS thermoresistive micro calorimetric flow sensors
    Lee, Yi-Kuen ; Gao, Bo ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 27 (2017-06-23), S. 085001-85001
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    CMOS micromachined capacitive cantilevers for mass sensing
    Chen, Meng-Huei ; Li, Ying-Chung ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-11-07), S. 2659-2665
    Online unknown
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A platform for monolithic CMOS-MEMS integration on SOI wafers
    Esteve, Jaume ; Verd, Jaume ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-09-05), S. 2203-2210
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    CMOS micromachined structures using transistors in the subthreshold region for thermal sensing
    Michael S.-C. Lu ; Liu, Dong-Hang ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-07-20), S. 1734-1739
    Online unknown
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