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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1766-1776Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 27 (2018-04-01), Heft 2, S. 276-288Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 548-560Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 727-739Online academicJournalZugriff: