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    THIN-FILM PADDLE MICRORESONATORS WITH HIGH QUALITY FACTORS FABRICATED AT TEMPERATURES BELOW 110 ^oC : Micro electro mechanical systems:; MEMS 2005 Miami: IEEE: technical digest
    Gaspar, J. ; Adrega, T. ; et al.
    In: MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS; IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2005, Heft 18, S. 125-128
    Konferenz
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    WP27 FABRICATION OF 3D MICROSTRUCTURES AND MICROACTUATORS ON (100) SOI WAFER USING THE DAWN PROCESS : Micro electro mechanical systems
    Chu, H. Y. ; Fang, W.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 753-756
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    HIGH-Q THIN-FILM SILICON RESONATORS PROCESSED AT TEMPERATURES BELOW 110^oC ON GLASS AND PLASTIC SUBSTRATES : Micro electro mechanical systems
    Gaspar, J. ; Chu, V. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 633-636
    Konferenz
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    TPa8 A NOVEL CONVEX CORNER COMPENSATION FOR WET ANISOTROPIC ETCHING ON (100) SILICON WAFER : Micro electro mechanical systems
    Chu, H. Y. ; Fang, W.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 253-256
    Konferenz
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    WP45 A New Integration of Device-Scale Micropackaging with Bi-Directional Tunable Capacitors : Micro electro mechanical systems
    Chu, C. H. ; Huang, L. S. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 654-657
    Konferenz
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    TP12 A Novel Addressable Switching Micro Corner Cube Array for Free-Space Optical Applications : Micro electro mechanical systems
    Chang, C. S. ; Chu, T. S. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 279-282
    Konferenz
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    MP20 A Power-Free Liquid Driven Method for Micro Mixing Application : Micro electro mechanical systems
    Chen, C. F. ; Kuo, S. C. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 100-103
    Konferenz
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    MP9 A Novel Electrostatic Vertical Comb Actuator Fabricated on (111) Silicon Wafer : Micro electro mechanical systems
    Chu, C. C. ; Tsai, J. M. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 56-59
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    MP12 Performance Enhancement of Polysilicon Electrothermal Microactuators by Localized Self-Annealing : Micro electro mechanical systems
    Chu, L. L. ; Nelson, D. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 68-71
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Temperature Coefficients of Material Properties for Electrodeposited MEMS : Micro electro mechanical systems
    Chu, L. L. ; Que, L. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2001, S. 68-71
    Konferenz
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    Long Throw and Rotary Output Electro-Thermal Actuators Based on Bent-Beam Suspensions : Micro electro mechanical systems
    Park, J. S. ; Chu, L. L. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 680-685
    Konferenz
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    A Micromachined Strain Sensor with Differential Capacitive Readout : Micro electro mechanical systems
    Que, L. ; Li, M. H. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 552-557
    Konferenz
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    Pneumatically Driven Microcage for Micro-Objects in Biological Liquid : Micro electro mechanical systems
    Ok, J. ; Chu, M. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 459-463
    Konferenz
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    Optical Communication Using Micro Corner Cube Reflectors : Micro electro mechanical systems: investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots
    Chu, P. B. ; Lo, N. R. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, , S. 350-355
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Independent Parallel Scanning Force Microscopy Using Pb (Zr, Ti)O~3 Microcantilever Array : Micro electro mechanical systems: investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots
    Itoh, T. ; Lee, C. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, , S. 78-83
    Konferenz
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