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    Glass and Quartz Microscintillators for CMOS-Compatible Multispecies Radiation Detection.
    Waguespack, Randy P. ; Pellegrin, Scott M. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), Heft 5, S. 1192-1200
    Online academicJournal
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    Fabrication techniques to realize CMOS-compatible microfluidic microchannels.
    Rasmussen, Angela ; Gaitan, Michael ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 10 (2001-06-01), Heft 2, S. 286-297
    Online academicJournal
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    An In-Plane High-Sensitivity, Low-Noise Micro-g Silicon Accelerometer With CMOS Readout Circuitry.
    Chae, Junscok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-08-01), Heft 4, S. 628-635
    Online academicJournal
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    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers.
    Doody, Christopher B. ; Cheng, Xiaoyang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-02-01), Heft 1, S. 104-118
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation.
    Reinke, John ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-10-01), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications.
    Witvrouw, Ann ; Haspeslagh, Luc ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-02-01), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Lateral Electrothermal Actuators.
    Gilgunn, Peter J. ; Liu, Jingwei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-02-01), Heft 1, S. 103-114
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process.
    Eminoglu, Selim ; Tanrikulu, Mahmud Yusuf ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-02-01), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
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    Process Development for CMOS-MEMS Sensors With Robust Electrically Isolated Bulk Silicon Microstructures.
    Qu, Hongwei ; Xie, Huikai
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
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    Electrostatically Actuated Metal-Droplet Microswitches Integrated on CMOS Chip.
    Shen, Wenjiang ; Edwards, R. Timothy ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), Heft 4, S. 879-889
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    CMOS Compatible Integration of Three-Dimensional Microfluidic Systems Based on Low-Temperature Transfer of SU-8 Films.
    Peng, Zheng-chun ; Ling, Zhong-geng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-06-01), Heft 3, S. 708-716
    Online academicJournal
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    A CMOS-MEMS Mirror With Curled-Hinge Comb Drives.
    Xie, Huikai ; Pan, Yingtian ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-08-01), Heft 4, S. 450-457
    Online academicJournal
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    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology.
    Xu, Dehui ; Xiong, Bin ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-12-01), Heft 6, S. 1331-1340
    Online academicJournal
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators.
    Zalalutdinov, Maxim K. ; Cross, Joshua D. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), Heft 4, S. 807-815
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor.
    Lazarus, Nathan ; Bedair, Sarah S. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-02-01), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers.
    Olsson, Roy H. ; Wojciechowski, Kenneth E. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 18 (2009-06-01), Heft 3, S. 671-678
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    High-Q Solenoid Inductors With a CMOS-Compatible Concave-Suspending MEMS Process.
    Gu, Lei ; Li, Xinxin
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), Heft 5, S. 1162-1172
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Planar CMOS Compatible Process for the Fabrication of Buried Microchannels in Silicon, Using Porous-Silicon Technology.
    Kaltsas, Grigoris ; Pagonis, Dimitris Nickos ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-12-01), Heft 6, S. 863-872
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    Arrays of Monocrystalline Silicon Micromirrors Fabricated Using CMOS Compatible Transfer Bonding.
    Niklaus, Frank ; Haasl, Sjoerd ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-08-01), Heft 4, S. 465-469
    Online academicJournal
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    Uncooled low-cost thermal imager based on micromachined CMOS integrated sensor array.
    Schaufelbühl, Andri ; Schneeberger, N. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 10 (2001-12-01), Heft 4, S. 503-510
    Online academicJournal
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